¡Dominamos calor! | 200 ~℃ 2200
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| Lugar de origen: | China |
| Nombre de la marca: | Brother Furnace |
| Certificación: | CE |
| Número de modelo: | BR-PECVD |
| Cantidad de orden mínima: | 1 set |
|---|---|
| Precio: | Negotiation |
| Detalles de empaquetado: | Caja de madera fuerte para el envío global |
| Tiempo de entrega: | 7-21 días laborables |
| Condiciones de pago: | L / C, T / T, Western Union |
| Capacidad de la fuente: | 200 sistemas por mes |
| Temperatura máxima: | 1200℃ | Vacío normal: | -0.1Mpa |
|---|---|---|---|
| Vacío máximo: | Bomba molecular de la configuración, PA del vacío 7x10-4 (opcional) | Reborde: | reborde del lacre del acero inoxidable 304 |
| Protección de sobrecalentamiento: | poder-apagado automático cuando la temperatura excede el valor determinado permisible | Protección de la seguridad: | Automáticamente poder apagado cuando el cuerpo del horno se escapa |
| Estructura del horno: | ventilador dual de acero de la capa doble, temperatura superficial debajo de 50℃ | VELOCIDAD DE CALENTAMIENTO DEL MAX: | 20°C /min |
| Exactitud de la temperatura: | ±1℃ | Uniformidad de la temperatura: | ±5℃ |
| Control de la temperatura: | 50 segmentos programables y control auto | Tubo de horno: | Tubo del cuarzo |
| Uso: | Horno de tubo partido del laboratorio PECVD con el tubo del cuarzo | ||
| Alta luz: | horno de tubo giratorio,horno de tubo del cuarzo |
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Repuestos del estándar:
Repuestos opcionales:
Especificación estándar partida del horno de tubo del laboratorio PECVD:
| 1. Sistema de calefacción | ||
| Max.temperature | 1200℃ (1 hora) | |
| Temperatura de trabajo | ≤1100℃ | |
| Tamaño de la cámara | Φ100*1650mm (el diamater del tubo es adaptable) | |
| Material de la cámara | Panel de fibras del alúmina de la pureza elevada | |
| Termopar | Tipo de K | |
| Temperatureaccuracy | ±1℃ | |
| Control de la temperatura |
segmentos programables del ● 50 para el control exacto de la velocidad de calentamiento, de la tarifa de enfriamiento y del tiempo de detención. ● construido en la función del Auto-tono del PID con la protección rota termopar de recalentamiento y rota. Sistema del control automático del PLC del ● por el regulador de la PC dentro. El ● el sistema del control de la temperatura, deslizando el sistema (tiempo y distancia) se podría controlar por programa. |
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| Longitud de la calefacción | 440m m | |
| Longitud constante de la calefacción | 200m m | |
| Elemento de calefacción | Alambre de resistencia | |
| Fuente de alimentación | Monofásico, 220V, 50Hz | |
| Poder clasificado | 9kW | |
| 2. Fuente del plasma del RF | ||
| Frecuencia del RF | 13,56 el MHz±0.005% | |
| De potencia de salida | 500W | |
| Máximo refleje el poder | 500W | |
| El RF hizo salir el interfaz | 50 Ω, N-tipo, femenino | |
| Estabilidad del poder | el ±0.1% | |
| Componente armónico | ≤-50dbc | |
| Voltaje de fuente/frecuencia | Monofásico AC220V 50/60HZ | |
| Eficacia entera | >el =70% | |
| Factor de poder | >el =90% | |
| Cámara de enfriamiento | De aire forzado | |
| 3. Sistema de control total de tres flujómetros de la precisión | ||
| Dimensión externa | 600x600x650m m | |
| Tipo del conector | Junta de Swagelok SS | |
| Gama estándar (N2) | 0~100sccm, 0~200sccm, o adaptable | |
| Exactitud | el ±1.5% | |
| Linear | el ±0.5~1.5% | |
| Repetibilidad | el ±0.2% | |
| Tiempo de respuesta |
Propiedad del gas: Sec 1~4; |
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| Gama de presión | 0.1~0.5 MPa | |
| Max.pressure | 3MPa | |
| Interfaz | Φ6,1/4” | |
| Exhibición | exhibición de 4 dígitos | |
| Temperatura ambiente | gas de la pureza elevada 5~45 | |
| Indicador de presión | - 0.1~0.15 MPa, 0,01 MPa/unidad | |
| Pare la válvula | Φ6 | |
| Pula el tubo de los SS | Φ6 | |
| Sistema bajo del vacío incluido | ||
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