Lugar de origen: | China |
Nombre de la marca: | Brother Furnace |
Certificación: | CE |
Número de modelo: | BR-PECVD |
Cantidad de orden mínima: | 1 set |
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Precio: | negotiable |
Detalles de empaquetado: | Caja de madera fuerte para el envío global |
Tiempo de entrega: | 7-21 días laborables |
Condiciones de pago: | L / C, T / T, Western Union |
Capacidad de la fuente: | 200 sistemas por mes |
Temperatura máxima: | 1200℃ | Vacío normal: | -0.1Mpa |
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Vacío máximo: | Bomba molecular de la configuración, PA del vacío 7x10-4 (opcional) | Reborde: | reborde del lacre del acero inoxidable 304 |
Protección de sobrecalentamiento: | poder-apagado automático cuando la temperatura excede el valor determinado permisible | Protección de la seguridad: | Automáticamente poder apagado cuando el cuerpo del horno se escapa |
Estructura del horno: | ventilador dual de acero de la capa doble, temperatura superficial debajo de 50℃ | VELOCIDAD DE CALENTAMIENTO DEL MAX: | 20°C /min |
Exactitud de la temperatura: | ±1℃ | Uniformidad de la temperatura: | ±5℃ |
Control de la temperatura: | 50 segmentos programables y control auto | Tubo de horno: | Tubo del cuarzo |
Uso: | PECVD | ||
Resaltar: | horno de tubo giratorio,horno de tubo del cuarzo |
horno de 1200C Max. Lab PECVD Tube con la bomba de la entrega y de vacío del gas
Introducción inteligente de PECVD:
El sistema de PECVD se diseña para disminuir temperatura de la reacción del CVD tradicional. Instaló el equipo de la inducción del RF delante del CVD tradicional para ionizar reaccionar el gas, así que se genera el plasma. La alta actividad del plasma es reacción es acelerado debido a la alta actividad del plasma. Así pues, este sistema se llama PECVD.
Este modelo es el producto más nuevo, sintetizó las ventajas de la mayoría del sistema del tubo PECVD, y añadió el precalentamiento de zona en el frente del sistema de PECVD. Las pruebas mostraron que la velocidad de la deposición es más rápida, calidad de la película son mejores, los agujeros son menos, y no se agrietarán. El sistema de control inteligente completamente automático de AISO es diseñado independientemente por nuestra compañía, es más conveniente actuar y su función es más potente.
Gama ancha del uso: película de película metálica, de cerámica, película compuesta, crecimiento continuo de diversas películas. Fácil aumentar la función, puede ampliar el grabado de pistas de la limpieza del plasma y otras funciones
Característica principal:
Repuestos del estándar:
Repuestos opcionales:
Especificación estándar del horno de tubo de 1200℃ PECVD:
1. Sistema de calefacción | ||
Max.temperature | 1200℃ (1 hora) | |
Temperatura de trabajo | ≤1100℃ | |
Tamaño de la cámara | Φ100*1650mm (el diamater del tubo es adaptable) | |
Material de la cámara | Panel de fibras del alúmina de la pureza elevada | |
Termopar | Tipo de K | |
Temperatureaccuracy | ±1℃ | |
Control de la temperatura |
segmentos programables del ● 50 para el control exacto de la velocidad de calentamiento, de la tarifa de enfriamiento y del tiempo de detención. ● construido en la función del Auto-tono del PID con la protección rota termopar de recalentamiento y rota. Sistema del control automático del PLC del ● por el regulador de la PC dentro. El ● el sistema del control de la temperatura, deslizando el sistema (tiempo y distancia) se podría controlar por programa. |
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Longitud de la calefacción | 440m m | |
Longitud constante de la calefacción | 200m m | |
Elemento de calefacción | Alambre de resistencia | |
Fuente de alimentación | Monofásico, 220V, 50Hz | |
Poder clasificado | 9kW | |
2. Fuente del plasma del RF | ||
Frecuencia del RF | 13,56 el MHz±0.005% | |
De potencia de salida | 500W | |
Máximo refleje el poder | 500W | |
El RF hizo salir el interfaz | 50 Ω, N-tipo, femenino | |
Estabilidad del poder | el ±0.1% | |
Componente armónico | ≤-50dbc | |
Voltaje de fuente/frecuencia | Monofásico AC220V 50/60HZ | |
Eficacia entera | >el =70% | |
Factor de poder | >el =90% | |
Cámara de enfriamiento | De aire forzado | |
3. Sistema de control total de tres flujómetros de la precisión | ||
Dimensión externa | 600x600x650m m | |
Tipo del conector | Junta de Swagelok SS | |
Gama estándar (N2) | 0~100sccm, 0~200sccm, o adaptable | |
Exactitud | el ±1.5% | |
Linear | el ±0.5~1.5% | |
Repetibilidad | el ±0.2% | |
Tiempo de respuesta |
Propiedad del gas: Sec 1~4; |
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Gama de presión | 0.1~0.5 MPa | |
Max.pressure | 3MPa | |
Interfaz | Φ6,1/4” | |
Exhibición | exhibición de 4 dígitos | |
Temperatura ambiente | gas de la pureza elevada 5~45 | |
Indicador de presión | - 0.1~0.15 MPa, 0,01 MPa/unidad | |
Pare la válvula | Φ6 | |
Pula el tubo de los SS | Φ6 | |
Sistema bajo del vacío incluido |
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